ATS-2001（非接触静電容量方式変位計）

【概要】

変位、振動、厚さ等の物理量を非接触のプローブにより検出し、それを電気量に変換して、もとの物理量を正確に
知る測定器を非接触式変位計と呼んでいます。完全非接触で検出を行う為、測定対象物に影響を与えることなく
確度の高い測定値を得る事ができます。ＡＴＳ-２００１は、その中でも卓越した安定性と汎用性をもつ、静電容
量方式を採用し、独自の技術で高精度かつ小型化に成功。
4チャンネルをワンユニット化し、同時測定を可能にしました。

●4チャンネル同時に測定及び表示が可能。

●デジタル表示はμm/V切替機能付き。

●オフセットIN/OUT切替機能で任意の距離を0V設定可能。

●測定レンジの0.03％相当の分解能とフルスケールの±0.1％以内の直線性。

●NEAR・FAR警告LED表示付きで、プローブセッティングが容易に扱えます。

●アナログ出力ポートを前面に配置。高度な信号処理を行うことができます。

●ガードリング方式のプローブにより、フルレンジで安定した測定が行えます。

●プローブ形状、サイズも豊富。特注プローブも制作いたします。

表示	4.1/2桁デジタルμm／V（切替機能付）
測定レンジ	50μm～1000μm（レンジ選択）
分解能	測定レンジの 0.03％
直線性	フルスケールの ±0.1％以内
出力	0～10V DC
周波数応答性	DC～1KHz（-3db）
電源	AC100V ±10％ 50/60Hz
環境条件	0～50℃，80％ R・H以下
寸法（mm）	320（W）×80（H）×240（D）（ハンドル部含まず）

厚さ計としてのご使用例。
変位計のプローブを被測定物の両側に既知の距離Cで固定しA,Bを
測定すれば、厚さｔは次のように求められます。
T＝C－(A+B)

回転体の軸ぶれ。面ぶれ、真円度、振動測定。
精密モータ、ハードディスク、コンパクトディスク等

平板材の厚さ、平面度、そり、表面粗さ測定。
シリコンウエハ、各種ディスク、シート材等

精密位置決め。
半導体製造装置、精密機械加工装置等

※本仕様は改良の為予告なく変更する場合がありますので、
　予めご了承下さい。