| 測定エリア |
100×100(mm) |
| 積載可能範囲 |
100×100×20(mm) |
| 最大積載重量 |
10Kg(max) |
| ステージ速度 |
16mm／sec(max) |
| ステージ分解能 |
±0.001(mm) |
| ステージ真直度 |
±0.0015(mm)（フルストローク） |
| Ｚ軸調整範囲 |
0〜20（mm）(手動) |
| 測定ピッチ |
0.001〜50(mm) |
| スムージング処理 |
ON/OFF切替 |
| 本体重量 |
約60Kg |
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測定範囲
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±50μm/±500μm(切替)
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分解能
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測定範囲の0.05%
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許容傾斜角
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±7°(鏡面状態)
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許容反射率
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2〜100
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レーザ
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半導体レーザ（780nm)
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応答性
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150Hz
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スポット径
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1μm
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作動距離（WD）
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2mm
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リニアリティ
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0.3%以内
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