XYOステージ（3軸ステージ）

【概要】

このステージはＸ軸、Ｙ軸、θ軸の３方向のリニアサーボアクチュエータを使用して、高速・高精度の位置決めを実現しています。
θ軸ステージ面は、真空吸着の加工が施されています。
ステージユニット内部にコンピュータを搭載しスタンドアローンで位置決めを制御
できる他、ＲＳ－２３２ＣやＬＡＮを経由して上位のコンピュータと接続が可能。
また、タイミング調整用に入出力回路を装備しており、外部機器の接続が容易。
プローバや位置決め装置のステージ部に応用できます。

	Ｘ軸	Ｙ軸	θ軸
移動方向	Ｘ、Ｙ、θ軸3方向
移動量	400（ｍｍ）	300（ｍｍ）	90°
ステージ面			10インチまで対応
分解能	0.5（μｍ/パルス）	0.5（μｍ/パルス）
位置決め精度	10μｍ	10μｍ	±20（秒）
繰り返し精度	±0.5μｍ	±0.5μｍ	±5（秒）
移動速度	0.8356（ｍ/ｓ）	0.8356（ｍ/ｓ）	2.5（ｒｐｓ）
耐荷重	50（Ｎ）
自重	60ｋｇ

２．モータコントローラ
　３軸独立型の高機能コントローラを使用して、独立して３方向のリニアサーボアクチュエータを駆動。

３．入出力部
　このステージユニットは入出力回路を実装しており、外部機器とのタイミング入出力を行ったり、
　電磁弁やスイッチなどを接続して多彩な制御が可能。

【ブロック図】

【コントロールコマンド】

このステージは、ユニット内部に搭載したCPUと上位のコンピュータを、RS-232C通信ポートで接続できます。
簡単なコマンドの送・受信で、上位のコンピュータから原点復帰や移動などのステージ制御や、入出力回路の
外部機器とのタイミング入出力、電磁弁やスイッチの制御ができます。